應用領域
APPLICATIONS
半導體及電子技術

半導體材料砷化鎵需要采用磊晶技術制造,這種磊晶圓的直徑通常為4-6英寸,比硅晶圓的12英寸要小得多。磊晶目前主要有化學的MOCVD,磊晶圓需要特殊的機臺,需要應用到鎢鉬材料。

RF CMOS工藝中藍寶石上硅工藝,在該行業中通常稱為Ultra CMOS。藍寶石本質上是一種理想的絕緣體,襯底下的寄生電容的插入損耗高、隔離度低。Ultra CMOS能制作很大的RFFET,對厚度為150~225μm的正常襯底,幾乎不存在寄生電容。藍寶石的長晶爐離不開鎢鉬材料的發熱體、熱場、隔熱層設備。

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